明天順六年（1462）部分蟻姓人遷居于此。
前屬海陽縣蘇灣都。
明成化十三年（1477）屬饒平縣。
明嘉靖四十二年（1563）屬澄海縣蘇灣都。
1921年撤都設區，設銀砂鄉，屬東隴區。
1936年屬第二區。
1946年撤區并鄉，銀砂、埭頭、西埭頭、三岱美、梅浦合稱銀砂鄉。
1949年屬蘇北區。
1951年屬溪南區。
1953年析銀砂鄉為銀北、銀南二鄉，內厝合弓兜、外蟻、口厝稱銀南鄉，屬溪南區。
1957年屬溪南鄉。
1958年成立澄海縣人民公社，屬第一支隊115團。
1959年銀南析為弓兜、內厝、外蟻、口厝4個生產大隊，屬溪南人民公社。
1984年1月設區建鄉，設內厝鄉，屬溪南區。
1986年11月撤區置鎮，設內厝村，屬溪南鎮。
1990年設內厝管理區。
1998年9月設內厝村，沿用至今。